目前，光栅的电子细分技术是提高光栅位移传感器分辨率的主要途径，可分为软件细分法和硬件细分法。软件细分法虽然可以达到较高的细分数，但由于受到A／D器件转换精度和转换时间的限制，一定程度上影响了测量的实时性。硬件细分法一般用在细分数不太高的场合，而且随着细分数的提高，电路会变得更加复杂。本文使用专用插值芯片(IC-NV)对前端输出的正交信号进行插值细分，利用FPGA对插值细分后的信号进行二次细分；同时利用QuartusII中的Component Editor工具设计了二次细分辨向组件、测速组件及LCD控制组件，并通过Avalon总线与NiosII软核处理器进行连接，实现了系统的集成和模块化。

2 莫尔条纹及四倍频直接细分的原理

莫尔条纹的电子细分是提高光栅位移传感器分辨率的主要途径之一。莫尔条纹是光栅位移传感器工作的基础。莫尔条纹间距近似为光栅栅距的1／θ倍(θ为主副光栅之间的夹角)，并且方向近似与栅线方向垂直。当其中任一光栅沿垂直于刻线方向移动一个栅距时，莫尔条纹就在栅线方向上移动条纹间距，因此可以通过检测莫尔条纹的移动来计算指示光栅移动的距离。

对于横向莫尔条纹，为了判定指示光栅的位移方向进行可逆计数以及削弱直流电平漂移对测量精度的影响，可在一个莫尔条纹内等距放置4个光电收发元件。当条纹依次扫过这4个光电收发元件时，便会产生4路相位分别为0°、90°、180°、270°的信号，通过运放差动放大电路即可实现四细分。但是，实际应用中要实现4个光电收发元件的等距排列是非常困难的。目前，大多数的光栅位移传感器都采用光闸莫尔条纹来实现四细分，如图1所示。

光闸式光栅副的指示光栅上刻有4个裂相窗口，各个窗口内栅线与主光栅一致，且相邻两个窗口之间依次间隔(n+1／4)d。其中，d为栅距(这里为20μm)，n为整数。这样，当0°窗口的栅线与主光栅完全重叠时，窗口最亮，形成亮带；180°窗口的栅线与主光栅栅线互相遮挡，形成暗带；90°和270°窗口的栅线缝隙被遮挡一半，处于半明半暗状态。因此，当移动指示光栅时，4个窗口内的光强依次呈现周期性的变化。在窗口区域安放光电收发元件对光强进行检测，便可得到依次相差π／2的4路正弦波信号。

3 光栅信号的产生及差值的实现

3.1 系统总体方案计

系统原理框图如图2所示。光电转换后输出的4路相差90°的正余弦电流信号经过2个前置差分放大器处理后，转换为电压信号并且消除了直流电平，得到相位相差90°的正交信号sinθ／cosθ。为了消除正交信号中掺杂的噪声信号，设计了有源二阶巴特沃斯低通滤波器。滤波后的信号经过插值专用芯片IC-NV后，便可送人FPGA进行二次细分辨向、测速和数字显示工作。

3.2 光电转换及前置放大电路

光电二极管的光电流一般为μA级别，而放大电路中反馈电阻一般采用MΩ量级的电阻。因此，运放的输入偏置电流的影响不能忽略，要选用输入偏置电流小的FET输入型运算放大器。本文选用TI公司的4路LinCMOS运放TLC279CN。它具有输入失调电压低、输入电阻高、噪声低的特点，25°时的典型输人偏置电流为60 pA，远小于光电二极管的光电流。光电二极管可以工作在零偏置或反向偏置方式。在反向偏置方式下，光电二极管可以实现较高的切换速度；但要以牺牲线性为代价，并且在无光条件下仍有很小的电流，称为“暗电流”。零偏置电路受暗电流的影响较小，对于微小照度，可以保持照度与输出成线性比例关系。

图3采用反向并接光电二级管的方式。该方式可以有效地削弱直流电平和偶次谐波。由于后端插值芯片单端输入时对输入信号直流电平和峰峰值有限制，因此在正相输入端设置可变电阻调节输出的直流电平至2.5 V，同时通过调节反馈电阻使输出电压的峰峰值为1 V。

3.3  低通滤波器的设计

由于目前光栅的移动速度多在120 m／min，最大不超过600 m／min，且光栅栅距为20 μm时输出的正交信号的频率不超过500 kHz。因此，选定低通滤波器的截止频率为fc=500 kHz，通带增益K=1。具体设计电路如图4所示。

3.4  差值电路的实现

IC-NV是IC-HAUS公司的单片A／D转换芯片，能够对输入的sinθ／cosθ信号进行插值，从而输出增量的正交编码信号。IC-NV芯片的内部结构及外围电路如图5所示。其内部集成了高速的比较器和毛刺滤波器，以保证信号的高速转换和完整性；输入／输出引脚具有ESD防护，且与TTL、CMOS电平兼容，接口简单可靠。

sinθ／cosθ信号首先进入芯片内部的前置仪表放大器。其增益取决于输入信号的电平及SG0、SG1引脚的状态。通过将SG0、SG1置为高、低电平或开路来选择不同的增益值，以适应峰峰值为20 mV～1.3 V的差分信号输入(单端信号峰峰值可达2.6 V)。本系统中，sinθ和cosθ信号使用单端输入方式，峰峰值为2 V，直流偏置为2.5V。因此在使用时需将NS和NC引脚与VREF(2.5 V)相连，以消除直流偏置。

前置仪表放大器输出的信号经过高速转换核心和转换间距控制单元后进入后端信号处理单元。该单元根据不同的插值因子(Interpolation Factor，IPF)输出相应的方波信号。9种不同的插值因子可以通过SF0和SF1引脚来配置，最高可以实现每个输入信号周期的64倍细分。